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水處理設(shè)備廠家
電子級高純水標(biāo)準(zhǔn)對比
電子級高純水標(biāo)準(zhǔn)和半導(dǎo)體超純水標(biāo)準(zhǔn)對比分析
2025-08-16 17:02:06蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司249
電子級高純水和半導(dǎo)體高純水用水標(biāo)準(zhǔn)對比
微電子工業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
LED(TFT) | 256K DRAM | 1M DRAM | 4M DRAM | 16M DRAM | 64M DRAM | |
線寬度(um) | - | 1.4 - 1.8 | 0.8 - 1.0 | 0.4 - 0.6 | 0.2 - 0.3 | 0.1 |
電阻率 （Mohm,25℃） | >18.0 | >17.5 | >18.0 | >18.0 | >18.1 | >18.1 |
TOC（ppb） | <20<> | <100<> | <30<> | <10<> | <3<> | <1<> |
微粒（No./ml） | (0.1μ)<10> | (0.2μ)<50> | (0.1μ)<10> | (0.05μ)<30> | (0.03μ)<10> | (0.03μ)<5> |
細菌（CFU/ml） | <1> | <10> | <1> | <5> | <5> | <5> |
溶解氧（ppb） | <50<> | <100<> | <100<> | <50<> | <5<> | <3<> |
二氧化硅（ppb） | <5<> | <10<> | <5<> | <3<> | <1<> | <0.5<> |
硼（ppb） | - | - | <2<> | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
鈉（ppb） | <0.1<> | <0.2<> | <0.1<> | <0.1<> | 0.05 | 0.01 |
鉀（ppb） | <0.1<> | <0.3<> | <0.1<> | <0.1<> | 0.05 | 0.02 |
鋅 | <0.05<> | <0.1<> | <0.05<> | <0.05<> | 0.02 | 0.02 |
鐵 | <0.05<> | <0.05<> | <0.05<> | 0.02 | 0.02 | |
銅 | <0.05<> | <0.05<> | <0.05<> | 0.005 | 0.005 | |
氯化物 | <0.1<> | <0.2<> | <0.1<> | 0.1 | 0.02 | 0.02 |
溴化物 | <0.1<> | <0.1<> | 0.05 | 0.02 | 0.02 | |
硝酸鹽 | <0.1<> | <0.1<> | 0.05 | 0.02 | 0.02 | |
硫酸鹽 | 0.1 | <0.2<> | 0.05 | 0.05 | 0.05 | |
不溶殘渣 | <0.3<> | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
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