








高純水設備出水電阻率達到18兆歐就可以了?答案肯定是不可以的。


半導體和集成電路生產中所用到的高純水不緊要求電阻率達到18.25兆歐以上,同時對各種金屬離子都有比較苛刻的要求,比如說鋅、鐵和銅離子,都要求達到0.05ppb等級,美國標準更嚴格,要達到0.02ppb。
電子級高純水同時對細菌要求比較高 細菌要求<5/1000CFU/ml,而制藥行業純化水標準是100CFU/ml,可以看出電子級高純水標準要求是要無數倍的。
同時TOC、顆粒物、二氧化硅、溶解氧都有很嚴格的要求。詳情請見上篇文章,高純水標準對比。


